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在操作普發渦輪分子泵時,需要格外注意以下幾個關鍵事項

發布時間: 2024-06-23  點擊次數: 708次
  普發渦輪分子泵是一種高真空泵,它采用渦輪葉輪的旋轉來產生氣體的吸入和排出。它在科學研究、半導體制造、工業生產等領域中得到廣泛應用。其工作原理基于分子動量傳遞和離心力。當渦輪葉輪高速旋轉時,氣體分子受到離心力的作用,從進口處進入葉片間隙,并在葉片之間碰撞和擴散。由于葉片的形狀和排列,氣體分子在葉片間形成螺旋狀流動,逐漸增加速度和動能。最終,氣體分子被抽取到渦輪葉輪的出口處,并排入真空系統中。
  在操作普發渦輪分子泵時,需要格外注意以下幾個關鍵事項:
  1、前級真空壓力
  對于帶有額外壓縮級的渦輪分子泵,其前真空壓力可以上升至30 hPa以上。而帶有純渦輪級的泵,最大前真空壓力為2-3 hPa,超過此值可能導致泵過熱甚至損壞。
  2、標注排氣管道尺寸
  安裝排氣管道和閥門時,應至少按照泵的標稱尺寸進行,以避免流導值不良導致的抽速顯著下降。例如,直徑和長度不符合要求的進氣管會導致電導值損失,嚴重影響有效抽速。
  3、高真空和前真空連接
  如果渦輪分子泵的高真空法蘭連接至接受器,前級管道必須保持靈活,否則固定連接會導致泵殼受熱后無法膨脹,產生不當的材料應力,影響轉子自由移動并可能導致軸承故障。
  4、安全連接高真空法蘭/真空室
  渦輪分子泵在額定轉速下具有較高的扭矩,尤其是在大型泵中,必須安全連接高真空法蘭和真空室,避免因布局不當導致真空室變形或泵扭曲。
  5、碎片保護
  應在渦輪分子泵的高真空法蘭上插入防護罩,以防止墜落碎片損壞轉子。這一點對于確保泵的長期穩定運行至關重要。
  6、烘烤泵
  烘烤泵時,必須遵守生產商規定的最大高真空法蘭溫度為120°C的要求,過高溫度會導致泵過熱,損害軸承或轉子。
  7、為渦輪分子泵排氣
  正確排氣是避免碳氫化合物返流和維護系統純凈的關鍵步驟。應使用干燥氣體如氮氣或無油空氣進行充氣,并在適當的速度下排氣。
  8、磁場與輻射
  強磁場會對渦輪分子泵產生不良影響,導致轉子過熱。同時,粒子加速器附近的輻射也會損壞電子驅動器和測量設備,因此需要采取防護措施。
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